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XGZF3000系列流量传感器是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片技术，采用热力学原理，测流道中的气体介质流量。高精度，高分辨率信号处理电路，具有内部校准补偿算法的数字处理电路。能准确获取精确实时有效的流量信号，保证产品的高稳定，可靠性能。
测量范围0～200SCCM～3000SCCM
高灵敏度，测量范围宽
内部温度补偿校准，无需外部校准
高精度，高分辨率
质量可靠，性能稳定，低成本
便携式呼吸机，家用制氧机
持续气道正压通气（CPAP）设备
麻醉分娩，重症护理设备
HVAC供暖通风与空气调节，空气净化器
环境气候监控；燃料电池控制等
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